传热方式只有辐射,没有传导和对流;非真空加热时有传导、对流和辐射三种方式,其中对流、传导根据压力的不同又与普通炉（常规压力）不同。可以通氢气、氮气、氩气等其它气体，高温真空炉是由厚钢板密封焊接而成，炉门与炉顶都是由10mm钢板组成。炉膛结构:炉膛内部有一马弗管材料为310S耐热不锈钢，炉胆下面有一活动小车，马弗管在小车的带动下可移出炉外，在马弗管外面为高铝聚轻异形砖砌成的炉腔，加热元件为电阻丝四面布置。保温采用1300型轻质莫来石及陶瓷纤维等。
高温真空炉温度场形成的特点真空炉的发热元件一般呈圆形布置。真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。
高温真空炉的温度测量通常采用热电偶温度传感器和光电高温计，一般情况下采用热电偶进行接触式测量，当温度较高时则必须选用辐射型光电测温计进行非接触时测量。